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TM106E膜厚監(jiān)測(cè)儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介： TM-106E 超小型膜厚監(jiān)測(cè)儀，采用石英晶體振蕩原理進(jìn)行膜厚的在線監(jiān)測(cè)，采用先進(jìn)的頻率測(cè)量技術(shù)（本公司自有知識(shí)產(chǎn)權(quán)技術(shù)），為廣大用戶(hù)研制的一款經(jīng)濟(jì)型在線膜厚監(jiān)測(cè)儀器。此儀器具有體積超小、測(cè)量精度高、操作簡(jiǎn)單、使用方便等優(yōu)點(diǎn)，主要用于MBE、OLED 熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備制備薄膜過(guò)程中膜層厚度及鍍膜速率的監(jiān)測(cè)，根據(jù)實(shí)時(shí)速率可以輸出 PWM 模擬量，可做為膜厚傳感器使用，與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制。

所屬分類(lèi)：

石英晶體膜厚儀

關(guān)鍵詞： TM106E膜厚監(jiān)測(cè)儀

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產(chǎn)品描述

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
TM-106E 超小型膜厚監(jiān)測(cè)儀，采用石英晶體振蕩原理進(jìn)行膜厚的在線監(jiān)測(cè)，采用先進(jìn)的頻率測(cè)量技術(shù)（本公司自有知識(shí)產(chǎn)權(quán)技術(shù)），為廣大用戶(hù)研制的一款經(jīng)濟(jì)型在線膜厚監(jiān)測(cè)儀器。此儀器具有體積超小、測(cè)量精度高、操作簡(jiǎn)單、使用方便等優(yōu)點(diǎn)，主要用于MBE、OLED 熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備制備薄膜過(guò)程中膜層厚度及鍍膜速率的監(jiān)測(cè)，根據(jù)實(shí)時(shí)速率可以輸出 PWM 模擬量，可做為膜厚傳感器使用，與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制。
本監(jiān)測(cè)儀可與計(jì)算機(jī)連接，運(yùn)行本機(jī)提供的計(jì)算機(jī)軟件進(jìn)行顯示操作，或與本公司開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)的 TM108 顯示儀配套使用，具有界面簡(jiǎn)單、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點(diǎn)?？芍庇^顯示監(jiān)測(cè)儀所測(cè)得的膜厚、速率、頻率等，通過(guò)軟件或顯示儀可對(duì)監(jiān)測(cè)儀的門(mén)控時(shí)間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)及通訊參數(shù)等相關(guān)參數(shù)進(jìn)行設(shè)置。并可將所測(cè)得的相關(guān)數(shù)據(jù)寫(xiě)入 Excel 文件。

技術(shù)指標(biāo)
電源要求：DC5V（±10%） 最大電流 400 mA
高分辨率：±0.03Hz(5-6MHz),0.0136? /測(cè)量(鋁)
最高精度：±0.5%厚度+1計(jì)數(shù)
測(cè)量速度：100 mS/次
測(cè)量范圍：500,000 ? (鋁)
標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體：6 MHz.
顯示器：連接計(jì)算機(jī)通過(guò)軟件顯示或連接顯示儀
計(jì)算機(jī)接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置，數(shù)據(jù)位：8 停止位：1 校驗(yàn)：無(wú)）
通訊協(xié)議：Modbus-ASCII（默認(rèn)）/ Modbus-RTU（通訊修改）
最大外形尺寸：90 x 50 x 18mm （長(zhǎng) x 寬 x 高）
使用溫度范圍：0-50℃室溫
濕度范圍：5%-85%RH.，不得有冷凝水珠

 

 

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