膜厚儀振蕩器
所屬分類：
石英晶體膜厚儀
關(guān)鍵詞： 膜厚儀振蕩器
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品特點(diǎn)：
本系列采用我公司專有的高速高精度頻率測(cè)量技術(shù)、計(jì)算機(jī)控制技術(shù)、高超的軟件編程技術(shù)及精湛的設(shè)計(jì)、加工與裝調(diào)水平開發(fā)與制造。引入模塊化設(shè)計(jì)理念，整機(jī)實(shí)現(xiàn)模塊組合，可為您提供更優(yōu)化的和更經(jīng)濟(jì)的產(chǎn)品。本系列產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于光學(xué)鍍膜機(jī)、OLED生產(chǎn)線、半導(dǎo)體IC生產(chǎn)線及其它高精準(zhǔn)膜層厚度控制的鍍膜機(jī)。
● 高速高精度測(cè)量。采用本公司特有的頻率測(cè)量技術(shù)，頻率測(cè)量分辨率高達(dá)0.002Hz、膜厚分辨率0.01?（材料：鋁）、測(cè)量速率可達(dá)10次/秒。
● 高穩(wěn)定度鍍膜過(guò)程控制。控制儀產(chǎn)品可根據(jù)測(cè)量出的高精度的鍍膜厚度與速率，通過(guò) PID 運(yùn)算等先進(jìn)的控制技術(shù)實(shí)現(xiàn)鍍膜過(guò)程的精準(zhǔn)控制，實(shí)現(xiàn)精確、穩(wěn)定的鍍膜過(guò)程全自動(dòng)控制。
● 界面友好、易操作。產(chǎn)品采用高分辨率液晶顯示觸摸屏操作與顯示，具有清晰、直觀等特點(diǎn)。
● 遠(yuǎn)程與外控。可選配 RS-232 或 RS-485 接口，可連接至電腦或工控機(jī)等設(shè)備，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操作和控制，并可對(duì)鍍膜數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)記錄（隨機(jī)附送 PC 機(jī)測(cè)試軟件）
SCIENS 膜厚儀產(chǎn)品選型表
| 型號(hào) | TM106 | TM118 | TM508/TM608 (高精度) |
TM818/TM818S (高精度) |
| 特點(diǎn) | 超小型 | 控制型 | 模塊化組合型 | 模塊化、控制型 |
| 應(yīng)用環(huán)境 | 用于系統(tǒng)集成(直連電腦或PLC)或配顯示儀的低成本系統(tǒng) | 用于簡(jiǎn)單的低成本的單通道鍍膜機(jī)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)速率和厚度控制。 | 用于鍍膜速率及膜厚監(jiān)測(cè)的鍍膜系統(tǒng)。連接電腦或PLC實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)集成，操作簡(jiǎn)單、應(yīng)用方便。 | 用于多源共蒸和成熟工藝的鍍膜機(jī)產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)鍍膜過(guò)程的全自動(dòng)控制。 |
| 當(dāng)鍍膜速率小于0.5?/S或厚度小于100?的鍍膜系統(tǒng)應(yīng)選用高精度的膜厚儀產(chǎn)品。 | ||||
| 膜層控制功能 | 無(wú) | 單通道控制 | 無(wú) | 六源共蒸沉積過(guò)程控制 |
| 頻率測(cè)量精度 | 0.03Hz | 0.03Hz 0.03Hz | 0.002Hz(高精度) | ||
| 膜厚測(cè)量分辨率 (鋁) | 0.1? | 0.1? | 0.01?(高精度) | ||
| 速率測(cè)量分辨率(鋁) | 0.1?/S | 0.1?/S | 0.01?/S(高精度) | ||
| 測(cè)量準(zhǔn)確度 | 0.5% | 0.5% | 0.2%(高精度) | ||
| 基準(zhǔn)源 | 100MHz 石英晶體 | 100MHz 普通 | TCXO(高精度) | ||
| 測(cè)量通道數(shù)量 | 1CH | 1CH | 2、4、6、8CH/ 可選裝普通或高精度測(cè)量板 | |
| 配接振蕩器型號(hào) | 自帶 | SI－ZD200、300、400 | ||
| 適應(yīng)晶片 | 6MHz | |||
| 顯示方式 | TM108 displayer、PLC or PC |
3.5 inch 640x350TFT 液晶顯示器 |
7 inch 1024x640 TFT 彩色液晶顯示器 |
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| 操作方式 | 顯示儀或PC 機(jī)軟件 | 觸摸屏 | 觸摸屏 | |
| 通訊功能 | RS-232/RS485 | |||
| 通訊協(xié)議 | Modbus ASCII/RTU | |||
| 供電電壓 | DC5V | AC220V | ||
| 機(jī)箱尺寸 (mm) | 70×35×20 | 184×655×160 | 335×140×160 | 365×160×160 |
石英晶體探頭選型表
| 基本型號(hào) | SE300 | SE400 | 說(shuō)明 |
| 適用真空度 | 高真空 1.0E10-5 | 超高真空 1.0E10-8 | |
| 密封方式 | 氟膠圈密封 | 焊接，全金屬密封 | 電極和水管的密封方式 |
| 真空漏率 | <1.0X10-8Pa.L.S | <1.0X10-10Pa.L.S | |
| 冷卻水管長(zhǎng)度 | 300/500/1000mm 可選，探頭長(zhǎng)度可在非真空狀態(tài)調(diào)整 | 300/500/1000mm 可選，自行焊接或提供定制長(zhǎng)度 | 定制長(zhǎng)度為探頭晶片中心到法蘭內(nèi)表面長(zhǎng)度 |
| 安裝方式 | -H：水平安裝 -V：垂直安裝 |
晶片平面與冷卻水管的位置關(guān)系 | |
| 法蘭形式 | CF35/M25可選 | CF35 | |
探頭型說(shuō)明： SE300-H-CF35-300 為高真空探頭 CF35 法蘭、水平安裝、水管長(zhǎng) 300mm。
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